乐鱼体育中芯集成-U取得一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备专利能够改善除水介质的雾化效果

　　金融界2024年6月21日消息，天眼查知识产权信息显示，绍兴中芯集成电路制造股份有限公司取得一项名为“一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备”的专利，授权公告号CN221201089U乐鱼体育，申请日期为2023年9月。

　　专利摘要显示，本实用新型提供了一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备，该雾化装置包括：第一接口，用于通入携带有液态除水介质的常温气体；第二接口，用于通入高温气体；雾化腔室，分别连接所述第一接口与所述第二接口，用于混合所述高温气体和所述液态除水介质，以将所述液态除水介质蒸发为气态除水介质；第三接口，与所述雾化腔室连接，用于释放所述气态除水介质。本实用新型的用于晶圆干燥的雾化装置，能够在雾化腔室内将高温气体与液态除水介质进行混合，以将液态除水介质蒸发为气态除水介质，进而改善除水介质的雾化效果。